Teollisuusuutiset

Tantalumikarbidi (TAC) pinnoitteita käytetään laajasti puolijohdekentällä, pääasiassa epitaksiaalisen kasvureaktorikomponenttien, yksikristallikasvun avainkomponenttien, korkean lämpötilan teollisuuskomponenttien, MOCVD-järjestelmän lämmittimien ja kiekko-operaattoreiden kanssa. Erinomainen korkean lämpötilan kestävyys ja korroosiokestävyys voivat parantaa laitteiden kestävyyttä, satoa ja kiteistä laatua, vähentää energiaa ja parantaa stabiilisuutta.

SIC -epitaksiaalisen kasvuprosessin aikana voi tapahtua sic -päällystetty grafiitti -suspensiovirhe. Tämä artikkeli suorittaa tiukan analyysin SiC -päällystetyn grafiitti suspension vikailmiöstä, joka sisältää pääasiassa kaksi tekijää: sic -epitaksiaalikaasun vajaatoiminta ja sic -pinnoitteen vajaatoiminta.

Tässä artikkelissa käsitellään pääasiassa molekyylisäteen epitaksiprosessin ja metalli-orgaanisen kemiallisen höyryn saostumistekniikan vastaavia prosessin etuja ja eroja.

Vetek Semiconductorin huokoisella tantaalikarbidilla uuden sukupolven sic -kristallin kasvumateriaalina on monia erinomaisia ​​tuoteominaisuuksia ja sillä on avainasemassa monissa puolijohdeprosessointitekniikoissa.

Epitaksiaalisen uunin toimintaperiaate on tallettaa puolijohdemateriaaleja substraattiin korkean lämpötilan ja korkean paineessa. Piilien epitaksiaalikasvu on kasvattaa kidekerros samalla kidesuuntauksella kuin substraatti ja erilainen paksuus piin yksikristallisubstraatilla, jolla on tietyllä kidesuuntauksella. Tämä artikkeli esittelee pääasiassa piin epitaksiaaliset kasvumenetelmät: höyryfaasin epitaksi ja nestemäisen faasin epitaksi.

Puolijohteiden valmistuksessa käytetään kemiallista höyryn laskeutumista (CVD) ohutkalvomateriaaleihin kammion, mukaan lukien SiO2, synti jne., Ja yleisesti käytettyihin tyyppeihin sisältyy PECVD ja LPCVD. Säätämällä lämpötila-, paine- ja reaktiokaasutyyppiä, CVD saavuttaa korkean puhtauden, tasaisuuden ja hyvän kalvon kattavuuden erilaisten prosessivaatimusten täyttämiseksi.