Teollisuusuutiset

Tärkeimmät menetelmät sic -yksittäisten kiteiden kasvattamiseksi ovat: fysikaalinen höyrynkuljetus (PVT), korkean lämpötilan kemiallinen höyryn laskeutuminen (HTCVD) ja korkean lämpötilan liuoksen kasvu (HTSG).

Auringonvaloesto -teollisuuden kehityksen myötä diffuusiouunit ja LPCVD -uunit ovat tärkeimmät laitteet aurinkokennojen tuotantoon, jotka vaikuttavat suoraan aurinkokennojen tehokkaaseen suorituskykyyn. Kattavan tuotteen suorituskyvyn ja käyttökustannusten perusteella piikarbidikeraamiset materiaalit ovat enemmän etuja aurinkokennojen alalla kuin kvartsimateriaalit. Piiharbide -keraamisten materiaalien käyttö aurinkosähköteollisuudessa voi suuresti auttaa aurinkosähköyrityksiä vähentämään lisämateriaalien sijoituskustannuksia, parantamaan tuotteiden laatua ja kilpailukykyä. Piharbidikeraamisten materiaalien tulevaisuuden trendi aurinkosähkökentällä on pääasiassa korkeampaa puhtautta, voimakkaampaa kuormituskykyä, korkeampaa kuormituskykyä ja alhaisempia kustannuksia.

Artikkelissa analysoidaan erityisiä haasteita, joihin CVD TAC -päällystysprosessi kohtaa SIC: n yksikiteisen kasvun puolijohdeprosessoinnin aikana, kuten materiaalilähteen ja puhtaudenhallinta, prosessiparametrien optimointi, päällystys tarttuminen, laitteiden ylläpito ja prosessien vakaus, ympäristönsuojelu ja kustannusten hallinta, kuten kuten sekä vastaavat teollisuusratkaisut.

SIC: n yksikiteisen kasvun sovelluksen näkökulmasta tässä artikkelissa verrataan TAC -pinnoitteen ja sic -pinnoitteen fysikaalisia fysikaalisia parametreja ja selittää TAC -pinnoitteen perusetujen perusetuja sic -pinnoitteen suhteen korkean lämpötilankestävyyden, voimakkaan kemiallisen stabiilisuuden, vähentyneiden epäpuhtauksien ja vähentyneiden epäpuhtauksien ja alhaisemmat kustannukset.

Fab -tehtaalla on monen tyyppisiä mittauslaitteita. Yleiset laitteet sisältävät litografiaprosessin mittauslaitteet, syövytysprosessin mittauslaitteet, ohutkalvon laskeutumisprosessin mittauslaitteet, seostusprosessin mittauslaitteet, CMP -prosessin mittauslaitteet, kiekkojen hiukkasten havaitsemislaitteet ja muut mittauslaitteet.

Tantaalikarbidi (TAC) pinnoite voi pidentää merkittävästi grafiittiosien käyttöikää parantamalla korkean lämpötilankestävyyttä, korroosionkestävyyttä, mekaanisia ominaisuuksia ja lämmönhallintaominaisuuksia. Sen korkea puhtausominaisuudet vähentävät epäpuhtauskontaminaatiota, parantavat kidekasvun laatua ja parantavat energiatehokkuutta. Se soveltuu puolijohteiden valmistus- ja kidekasvusovelluksiin korkean lämpötilan, erittäin syövyttävissä ympäristöissä.