Teollisuusuutiset

Sähköstaattinen istukka (ESC), joka tunnetaan myös nimellä sähköstaattinen istukka (ESC, E-CHUCK), on kiinnitys, joka käyttää sähköstaattisen adsorption periaatetta adsorboituneen materiaalin pitämiseen ja korjaamiseen. Se sopii tyhjiö- ja plasmaympäristöihin.

SiC-kiekkojen kantajat, jotka ovat tärkeimmät kulutustarvikkeet kolmannen sukupolven puolijohdeteollisuusketjussa, niiden tekniset ominaisuudet vaikuttavat suoraan epitaksiaalisen kasvun ja laitteen valmistuksen satoon. Koska korkeajännite- ja korkean lämpötilan laitteiden kysyntä teollisuudenaloilla, kuten 5G tukiasemilla ja uusilla energiaajoneuvoilla, SiC-kiekkojen harjoittajien tutkimus ja soveltaminen kohtaavat nyt merkittäviä kehitysmahdollisuuksia.

Alumiinioksidikeramiikka on "työhevonen" keraamisten komponenttien valmistukseen. Niillä on erinomaiset mekaaniset ominaisuudet, erittäin korkeat sulamispisteet ja kovuus, korroosionkestävyys, voimakas kemiallinen stabiilisuus, korkea resistiivisyys ja erinomainen sähköeristys. Niitä käytetään yleisesti kiillotuslevyjen, tyhjiötukkaiden, keraamisten käsivarsien ja vastaavien osien valmistamiseen.