Teollisuusuutiset

Kvartsivene on keskeinen kuormituskomponentti, jota käytetään puolijohteiden valmistusprosessissa. Sitä käytetään pääasiassa kiekkojen korkean lämpötilan prosessointiin, kuten diffuusioon, hapettumiseen ja hehkutukseen. Sen erinomainen lämpöstabiilisuus, alhaiset pilaantumisominaisuudet ja korroosionkestävyys tekevät siitä välttämättömän materiaalin puolijohdeteollisuudessa. Tämä artikkeli kehittää kvartsiveneiden materiaalia, fysikaalisia ominaisuuksia, luokittelua, sovellusskenaarioita ja sen eroja PECVD -grafiittiveneestä.

PECVD-grafiittiveneen ydinmateriaali on korkean puhtaan isotrooppinen grafiittimateriaali (puhtaus on yleensä ≥99,999%), jolla on erinomainen sähkönjohtavuus, lämmönjohtavuus ja tiheys. Tavallisiin grafiittiveneisiin verrattuna PECVD -grafiittiveneisiin on monia fysikaalisia ja kemiallisia ominaisuuksia, ja niitä käytetään pääasiassa puolijohde- ja aurinkosähköteollisuudessa, etenkin PECVD- ja CVD -prosesseissa.

MOCVD -grafiittialustalla on tärkeä rooli epitaksiaalisessa prosessissa. Tämä artikkeli tekee yksityiskohtaisen analyysin MOCVD -grafiittilaitteiden valinnasta materiaaliominaisuuksien ja sovellusskenaarioiden näkökulmista.