Teollisuusuutiset

SIC -keraaminen on keraaminen materiaali, joka on tuotettu pii (SI) ja hiili (C) -elementtien reaktiolla, joissa on erittäin korkea kovuus, lämmönkestävyys ja kemiallinen stabiilisuus

Puolijohteiden valmistuksen, tarkkuuden ja vakauden korkean panoksen maailmassa ovat kaikki-ja siellä sähköstaattinen istukka (ESC) astuu sisään. Paljon enemmän kuin vain pitotyökalua, ESC käyttää sähköstaattisia voimia kiinnittimien kiekkoja turvallisesti kriittisten prosessien aikana, kuten etsaus-, laskeutumis- ja ionin implantoinnin aikana. Mutta miten se todella toimii? Miksi se on parempi kuin perinteinen mekaaninen puristus? Ja mikä rooli sillä on nanomittakaavan tarkkuuden ja suorituskyvyn tehokkuuden saavuttamisessa? Tervetuloa lukemaan.

Sähköstaattisen istukan Dechuck -periaate on keskeinen osa sen työnkulkua, joka sisältää sähköstaattisen voiman eliminaation ja kiekkojen vapautumismekanismit.