CVD SiC Coating Grafiittiosien puhdistuspalvelu

1. Haasteet, joita saatat kohdata

• AlN-kerros vaikea poistaa:1300°C lämpöpuhdistus ei silti pysty syövyttämään tehokkaasti AlN-jäännöskerrosta.

• Toistuva muistiefekti:Pintamuistiefekti aiheuttaa epävakaan kaasuvirtauksen reaktorissa, mikä vaikuttaa prosessin johdonmukaisuuteen.

• Cleaning Cycle Impacts:n suorituskyky:Tyypillisesti joka 16. prosessisykli (4–5 suskeptoria) vaatii ulkoista puhdistusta.

• Huoli kalliista pinnoitteista:Oman kemiallisen puhdistuksen kokemuksen puute saa käyttäjät epäröimään aggressiivista puhdistusta.

2. Ratkaisumme – Suunniteltu GaN/AlN/AlGaN-prosesseihin

• Ammattimainen siivous:Räätälöity prosessi, joka on kehitetty erityisesti CVD SiC -pinnoitetuille grafiittiosille. Asiakkaalta ei vaadita kemiallista kaavaa.

• Pinnoitteen turvallisuus:Suojaa tiukasti 100 µm CVD SiC -pinnoitetta. Paksuushäviö puhdistuksen jälkeen täysin nolla.

• Todennettavat tulokset:Täydellinen analyysitodistus (COA), joka kattaa viisi ydinulottuvuutta. Tiedot valmiina arkistointia ja laaduntarkastusta varten.

3. Viisi keskeistä hyväksymiskriteeriä

Suunniteltu tiukasti puolijohdeepitaksian käyttäjien kriittisiin vaatimuksiin:

1. Nolla pinnoitteen häviötä– Piikarbidipinnoitteen paksuus ei koskaan pienene puhdistuksen jälkeen (paksuuden ennakko-/jälkivertailun tarkistus).

2. Ei pinnan muodonmuutoksia– Tasaisuus ja geometrinen tarkkuus tarkastetaan tiukasti fyysisen muodonmuutoksen välttämiseksi.

3. Poista muistiefekti– XPS-analyysi Al/Ga-jäännökselle vahvistaa muistiefektilähteiden perusteellisen poistamisen.

4. Nolla metallijäännöstä– ICP-MS-testaus Fe:lle, Cu:lle, Ni:lle ja muille metalleille varmistaa, että metallisia epäpuhtauksia ei ole.

5. Ei ylimääräisiä hiukkasia– QIII-hiukkastesti ja puhtaustarkastus estävät jäännöshiukkasten aiheuttaman kaasuvirtauksen epävakauden.

4. Toimituksen tarkastus- ja aitoustodistusraportti

Jokainen erä toimitetaan täydellisillä varmennustiedoilla viidestä ydinulotteesta:

5. Sovellettavat tuotteet ja prosessin tausta

Tuoteparametrit

Palveluprosessi

1. Tiedustelu– Lähetä osakuvat / malli / määrä arvioitavaksi.

2. Lainaus– Tekninen arviointi ja yksityiskohtainen puhdistusehdotus tarjouksella.

3. Toimitus– Lähetä osat meille tai järjestä noutopalvelu.

4. Puhdistus– Ammattimainen puhdistus + täydellinen moniulotteinen tarkastus.

5. Raportti– Aitoustodistus on annettu ja puhdistetut osat palautettu.

6. Seuranta– Vaikutusten seuranta ja jatkuva tekninen tuki.

6. Miksi valita VETEK-siivouspalvelu?

VETEK yhdistää syvän CVD SiC -pinnoitusteknologian asiantuntemuksen ja erityiset puhdistusominaisuudet arvokkaille grafiittisuskeptoreille. Ymmärrämme pinnoitteen eheyden, hiukkasten hallinnan ja prosessin puhtauden kriittisen merkityksen GaN/AlN-epitaksissa. Palvelumme on suunniteltu asiakkaille, jotka vaativat ehdotonta turvallisuutta kalliille CVD SiC -pinnoitteille ja samalla ratkaisevat täysin muistiefektin ja kaasuvirtauksen epävakauden ongelmat.

· Koepuhdistus saatavilla pienten erien varmentamiseen

· Täydellinen COA-raportti toimitetaan jokaisen toimituksen mukana

· Nolla riskiä pinnoitteen vaurioitumisesta tai uudesta kontaminaatiosta

· Ammattimainen · Turvallinen · Todennettavissa