Suurikokoinen vastuslämmitys SiC-kidekasvatusuuni

Tekniset parametrit

Keskeiset edut

 ● Täysikokoinen yhteensopivuus

Mahdollistaa 6 tuuman, 8 tuuman ja 12 tuuman piikarbidikiteiden vakaan kasvun ja on täysin yhteensopiva johtavien, puolieristys- ja N-tyyppisten materiaalijärjestelmien kanssa. Se kattaa eri spesifikaatioiden tuotteiden tuotantotarpeet ja mukautuu erilaisiin käyttöskenaarioihin.

● Vahva prosessin vakaus

8 tuuman kiteillä on erinomainen 4H polytyyppinen konsistenssi, vakaa pinnan muoto ja hyvä toistettavuus; 12 tuuman piikarbidikiteiden kasvatusteknologia on saattanut päätökseen tarkastuksen korkealla massatuotannon toteutettavuudella.

● Matala kristallivirheprosentti

Lämpötilan, paineen ja tehon tarkan säädön ansiosta kidevaurioita vähennetään tehokkaasti standardien mukaisilla avainindikaattoreilla – EPD=1435 ea/cm², BPD=381 ea/cm², TSD=0 ea/cm² ja TED=1054 ea/cm². Kaikki vikaindikaattorit täyttävät korkealaatuiset kiteiden laatuvaatimukset, mikä parantaa merkittävästi harkon saantoa.

● Hallittavat käyttökustannukset

Sillä on alhaisin energiankulutus vastaavista tuotteista. Ydinkomponenttien (kuten lämmöneristyssuojat) vaihtojakso on pitkä, 6–12 kuukautta, mikä vähentää kokonaisvaltaisia ​​käyttökustannuksia.

● Plug and Play -mukavuus

Laitteen ominaisuuksiin perustuvat räätälöidyt resepti- ja prosessipaketit, jotka on varmistettu pitkän aikavälin ja usean erän tuotannossa, mikä mahdollistaa tuotannon välittömästi asennuksen jälkeen.

● Turvallisuus ja luotettavuus

Ottaa käyttöön erityisen kipinänestorakenteen mahdollisten turvallisuusriskien poistamiseksi; reaaliaikainen seuranta ja ennakkovaroitustoiminnot välttävät ennakoivasti operatiivisia riskejä.

● Erinomainen tyhjiöteho

Lopulliset tyhjiön ja paineen nousunopeuden indikaattorit ylittävät kansainvälisesti johtavat tasot, mikä takaa puhtaan ympäristön kiteen kasvulle.

● Älykäs käyttö ja huolto

Sisältää intuitiivisen HMI-liittymän yhdistettynä kattavaan tiedontallennukseen, mikä tukee valinnaisia ​​etävalvontatoimintoja tehokkaaseen ja kätevään tuotannonhallintaan.

Visuaalinen näyttö ydinsuorituskyvystä

Lämpötilasäädön tarkkuuskäyrä

Kiteenkasvatusuunin lämpötilan säätötarkkuus ≤ ±0,3 °C; Lämpötilakäyrän yleiskatsaus

Paineensäädön tarkkuuskaavio

Kiteenkasvatusuunin paineensäätötarkkuus: 1,0 Torr, Paineensäätötarkkuus: 0,001 Torr

Tehon vakaus Tarkkuus

Uunien/erien välinen vakaus ja johdonmukaisuus: Tehon stabiilisuustarkkuus

Kiteen kasvutilan alla tehonsäädön tarkkuus vakaan kiteen kasvun aikana on ±0,15 %.

Veteksemiconin tuotteiden kauppa