Aixtron G10 Solid SiC planeettareaktorin komponentit

1. Tärkeimmät ominaisuudet ja edut

• Täysin tiivis, sideaineeton Solid SiC -rakenne takaa erinomaisen kulumisen ja korroosionkestävyyden

• Erinomainen lämmönjohtavuus ja lämpöiskun kestävyys yli 1500 °C lämpötiloissa

• Erittäin alhainen hiukkasten muodostus ja korkea puhtaus minimoi kontaminaatioriskin

• Erinomainen kemiallinen inertti piikarbidin epitaksissa käytettyjä prosessikaasuja vastaan

• Pitkä käyttöikä toistuvissa korkean lämpötilan jaksoissa

• Tarkkuustyöstetty tiukkaan mittatoleranssiin luotettavan sovituksen ja prosessin vakauden takaamiseksi

 2. Tyypilliset sovellukset

Näitä Solid SiC -lisävarusteita käytetään Aixtron G10 -reaktorin keskeisillä toiminnallisilla alueilla, mukaan lukien:

• Peitelevyt ja valitut kansielementit

• Suojarenkaat ja erittäin kuluvat komponentit

• Tarkkuustapit, aluslevyt ja pienet rakenneosat

• Muita mukautettuja erittäin puhtaita sisäosia, jotka ovat alttiina voimakkaalle kaasuvirralle tai lämpökuormitukselle

Ne tukevat vakaata lämpötilan jakautumista, tasaista kaasun toimitusta ja pientä vikatiheyttä suuren tilavuuden piikarbidin epitaksiaalisessa kasvussa teho-MOSFET:ien, diodien ja niihin liittyvien laajakaistaisten laitteiden osalta.

3. Miksi valita VeTek Solid SiC Aixtron G10:lle?

Puolijohdelaatuisten materiaalien erikoistuneena valmistajana VeTek Semiconductor tarjoaa:

• Aixtron G10 -järjestelmiin räätälöityjä erittäin puhtaita Solid SiC -komponentteja, esimerkiksi: kansirengas, sisä-/ulkokannet, alasveto/tukilevy, satelliittilevy, suskeptori

• Tiukka puhtauden valvonta ja tarkka CNC-työstö

• Täydentävät ratkaisut, mukaan lukien CVD SiC-pinnoitettu grafiitti ja TaC-päällystetyt osat täydelliseen lämpökentän peittoon

• Räätälöidyt mallit, jotka on sovitettu tiettyihin prosessiolosuhteisiin ja reaktorikokoonpanoihin

Solid SiC -lisävarusteemme auttavat asiakkaita maksimoimaan Aixtron G10 -alustan tuottavuusedut – korkea kiekkojen tuotto, erinomainen paksuus ja seostustasaisuus sekä kilpailukykyiset omistuskustannukset – samalla pidentäen komponenttien käyttöikää ja vähentäen hiukkasiin liittyvää tuottohäviötä.