7N erittäin puhdasta CVD SiC -raaka-ainetta

1. Keskeiset suorituskykytekijät

• 7N puhtausluokka: Ylläpidämme tasaisen puhtauden 99,99999 % (7N), pitäen metalliset epäpuhtaudet ppb-tasoilla. Tämä on välttämätöntä korkearesistiivisten puolieristyskiteiden (HPSI) kasvattamiseksi ja kontaminoitumattomuuden varmistamiseksi teho- tai RF-sovelluksissa.
• Rakenteellinen vakaus vs. C-Dust: Toisin kuin perinteiset jauheet, joilla on taipumus romahtaa tai vapauttaa hienojakoisia aineita sublimoinnin aikana, suurirakeinen CVD-bulkkimme pysyy rakenteellisesti vakaana. Tämä estää hiilipölyn (C-pölyn) kulkeutumisen kasvuvyöhykkeelle, joka on johtava kiteiden sulkeumien ja mikroputkivikojen syy.
• Optimoitu kasvukinetiikka: Suunniteltu teollisen mittakaavan valmistukseen, tämä lähde tukee jopa 1,46 mm/h kasvua. Tämä edustaa 2-3-kertaista parannusta verrattuna 0,3–0,8 mm/h:iin, jotka tyypillisesti saavutetaan perinteisillä jauhepohjaisilla menetelmillä.
• Thermal Gradient Management: Lohkoidemme suuri bulkkitiheys ja erityinen geometria luovat aggressiivisemman lämpötilagradientin upokkaan. Tämä edistää tasapainoista pii- ja hiilihöyryjen vapautumista, mikä vähentää "Si-rikas aikainen / C-rikas myöhäinen" vaihteluita, jotka vaivaavat standardiprosesseja.
• Crucible Loading Optimization: Materiaalimme mahdollistaa yli 2 kg:n lisäyksen 8 tuuman upokkaiden kuormituskapasiteetissa jauhemenetelmiin verrattuna. Tämä mahdollistaa pidempien harkojen kasvun sykliä kohden, mikä parantaa suoraan tuotannon jälkeistä tuottoprosenttia kohti 100 %.

1. Tekniset tiedot

Vertailu: perinteinen jauhe vs. VETEK CVD Bulk