Piikarbidikeramiikka

Piilarbidi (sic) robottivartimme on suunniteltu korkean suorituskyvyn kiekkojen käsittelyyn edistyneessä puolijohdevalmistuksessa. Tämä robottivarsi on valmistettu korkean puhtaan piikarbidista, ja se tarjoaa poikkeuksellisen vastustuskyvyn korkeille lämpötiloille, plasman korroosiolle ja kemialliselle hyökkäykselle, mikä varmistaa luotettavan toiminnan puhdashuoneympäristöissä. Sen poikkeuksellinen mekaaninen lujuus ja ulottuvuuden stabiilisuus mahdollistavat tarkan kiekkojen käsittelyn minimoimalla saastumisriskit, mikä tekee siitä ihanteellisen valinnan MOCVD: lle, epitaksille, ionin implantoinnille ja muille kriittisille kiekkojen käsittelysovelluksille. Olemme tyytyväisiä tiedusteluihisi.

Veeksemicon sic-kiekkoveneitä käytetään laajasti kriittisissä korkean lämpötilan prosesseissa puolijohteiden valmistuksessa, joka toimii luotettavina kantajina hapettumisessa, diffuusiossa ja hehkutusprosesseissa piipohjaisiin integroituihin piireihin. Ne ovat myös menestyneet kolmannen sukupolven puolijohde-alalla, joka sopii täydellisesti vaativiin prosesseihin, kuten epitaksiaalisen kasvun (EPI) ja metalli-orgaaniseen kemialliseen höyryn laskeutumiseen (MOCVD) sic- ja GaN-voimalaitteille. Ne tukevat myös aurinkokennojen korkean lämpötilan valmistusta aurinkosähköteollisuudessa. Innolla lisäkonsultointiasi.

Veeksemicon sic uloke-melat ovat voimakkaasti piikkikarbiditukivarret, jotka on suunniteltu kiekkojen käsittelyyn vaakasuuntaisissa diffuusiouuneissa ja epitaksiaalireaktoreissa. Poikkeuksellisen lämmönjohtavuuden, korroosionkestävyyden ja mekaanisen lujuuden avulla nämä melat varmistavat stabiilisuuden ja puhtauden vaativissa puolijohdeympäristöissä. Saatavana räätälöityinä ja optimoitu pitkään käyttöikäyn.

Veeksemiconin SIC-lohko on suunniteltu pii- ja safiiri-kiekkojen korkean tehokkuuden hiontaan ja ohenemiseen. Erinomaisella lämmönjohtavuudella (≥120 W/m · K), korkean lämmönkestävyyden ja erinomaisen kulutuskestävyyden (MOHS ≥9), lohkomme parantavat prosessin stabiilisuutta ja vähentävät työkalunmuutostaajuutta. Saatavana kokoina 120 mm - 480 mm, räätälöityjen vaihtoehtojen ja nopean toimituksen kanssa monipuolisten tuotantotarpeiden tyydyttämiseksi.

Veeksemicon sic -keramiikkakalvot ovat eräänlainen epäorgaaninen kalvo ja kuuluvat kiinteisiin kalvomateriaaleihin kalvon erotustekniikassa. SiC -kalvot ampuvat lämpötilassa yli 2000 ℃. Hiukkasten pinta on sileä ja pyöreä. Tukikerroksessa ja jokaisessa kerroksessa ei ole suljettuja huokosia tai kanavia. Ne koostuvat yleensä kolmesta kerroksesta, joilla on erilainen huokoskoko.

Huokoiset sic -keraamiset levyt ovat pääkomponenttina piikarbidista valmistettuja huokoisia keraamisia materiaaleja ja jalostetaan erityisprosesseilla. Ne ovat välttämättömiä materiaaleja puolijohteiden valmistuksessa, kemiallisen höyryn laskeutumisessa (CVD) ja muissa prosesseissa.