SiC-epitaksiprosessi

CVD TaC -pinnoitettu planetaarinen SiC-epitaksiaalinen suskeptori on yksi MOCVD-planeettareaktorin ydinkomponenteista. CVD TaC -pinnoitteen ansiosta suuri kiekko kiertää ja pieni kiekko pyörii, ja vaakavirtausmalli laajennetaan monisiruisiin koneisiin, jotta siinä on sekä korkealaatuinen epitaksiaalisen aallonpituuden tasaisuuden hallinta että yksittäisen vian optimointi. -sirukoneet ja monisirukoneiden tuotantokustannusedut.VeTek Semiconductor voi tarjota asiakkaille erittäin räätälöityjä CVD TaC pinnoite planetaarinen SiC epitaksiaalinen suskeptori. Jos haluat myös tehdä Aixtronin kaltaisen planetaarisen MOCVD-uunin, tule meille!

Vetek Semiconductor on kiinalainen yritys, joka on maailmanluokan valmistaja ja toimittaja Gan Epitaxy -herkästä. Olemme työskennelleet puolijohdeteollisuudessa, kuten piikarbidipinnoitteet ja GAN -epitaksian alttiina pitkään. Voimme tarjota sinulle erinomaisia ​​tuotteita ja suotuisia hintoja. Vetek Semiconductor odottaa saavansa pitkäaikaisen kumppanisi.

VeTek Semiconductor TaC Coated Wafer Susceptor on tantaalikarbidilla päällystetty grafiittialusta piikarbidin epitaksiaaliseen kasvuun parantamaan kiekkojen laatua ja suorituskykyä. VeTek on valittu edistyneen pinnoitusteknologiansa ja kestävien ratkaisujensa ansiosta, jotka takaavat erinomaiset SiC-epitaksiatulokset ja pidennetyn suskeptorin käyttöiän. Tervetuloa lisätiedusteluihin.

Veek Semiconductor TAC -päällysteisen opasrenkaiden johtavana TAC -päällystysoppaantuotteiden valmistajana on tärkeitä komponentteja MOCVD -laitteissa, varmistaen tarkan ja vakaan kaasun synnytyksen epitaksiaalisen kasvun aikana ja ovat välttämätöntä materiaalia puolijohde -epitaksiaalisen kasvun aikana. Tervetuloa kuulemaan meitä.

Vetek Semiconductor on ammattimainen valmistaja ja huokoisten tantaalikarbidituotteiden johtaja Kiinassa. Huokoinen tantaalikarbidi valmistetaan yleensä kemiallisen höyryn laskeutumismenetelmällä (CVD), joka varmistaa sen huokoskoon ja jakautumisen tarkan hallinnan, ja se on materiaalikkaan, joka on omistettu korkean lämpötilan äärimmäisympäristöille. Tervetuloa edelleen kuulemiseen.

VeTek Semiconductorin TaC Coating Guide Ring on luotu levittämällä tantaalikarbidipinnoite grafiittiosiin käyttämällä erittäin kehittynyttä tekniikkaa, jota kutsutaan kemialliseksi höyrypinnoitukseksi (CVD). Tämä menetelmä on vakiintunut ja tarjoaa poikkeukselliset pinnoitusominaisuudet. Hyödyntämällä TaC Coating Guide Ringiä grafiittikomponenttien käyttöikää voidaan pidentää merkittävästi, grafiittiepäpuhtauksien liikettä voidaan estää ja SiC- ja AIN-yksikidelaatua voidaan ylläpitää luotettavasti. Tervetuloa tiedustelemaan meitä.