Puolijohteinen lämpösumutustekniikka

Puolijohteinen lämpösumutustekniikka on edistynyt prosessi, joka suihkuttaa materiaaleja sulassa tai puolisulassa tilassa substraatin pinnalle pinnoitteen muodostamiseksi. Tätä tekniikkaa käytetään laajalti puolijohteiden valmistuksessa, ja sitä käytetään pääasiassa pinnoitteiden luomiseen, joilla on tiettyjä tehtäviä substraatin pinnalle, kuten johtavuus, eristys, korroosionkestävyys ja hapettumisenkestävyys. Lämpöruiskutustekniikan tärkeimpiä etuja ovat korkea hyötysuhde, säädettävä pinnoitteen paksuus ja hyvä pinnoitteen tarttuvuus, mikä tekee siitä erityisen tärkeän suurta tarkkuutta ja luotettavuutta vaativassa puolijohteiden valmistusprosessissa.

Lämpö suihkutustekniikan levitys puolijohteissa

Plasmasädeetsaus (kuivaetsaus)

Yleensä viittaa hehkuvapauden käyttöön plasman aktiivisten hiukkasten tuottamiseksi, jotka sisältävät varautuneita hiukkasia, kuten plasmaa ja elektroneja sekä erittäin kemiallisesti aktiivisia neutraaliatomeja ja molekyylejä ja vapaat radikaalit, jotka diffundoivat syövytettävään osaan, reagoivat syövytetyn materiaalin kanssa, muodostavat haihtuvan Tuotteet ja ne poistetaan, täydentäen siten kuvion siirron etsaustekniikkaa. Se on korvaamaton prosessi, jolla toteutetaan hienojen kuvioiden korkean luokan siirto fotolitografiamallista kiekkoihin erittäin suurten mittaisten integroitujen piirien tuotannossa.

Luodaan suuri joukko aktiivisia vapaita radikaaleja, kuten CL ja F. Kun ne syövyttävät puolijohdelaitteita, ne syövyttävät laitteen muiden osien, mukaan lukien alumiiniseokset ja keraamiset rakenteelliset osat, sisäpinnat. Tämä voimakas eroosio tuottaa suuren määrän hiukkasia, jotka eivät vain vaadi tuotantolaitteiden usein ylläpitoa, vaan myös aiheuttaa etsausprosessikammion vikaantumista ja laitteen vaurioita vakavissa tapauksissa.

Y2O3 on materiaali, jolla on erittäin vakaat kemialliset ja lämpöominaisuudet. Sen sulamispiste on paljon yli 2400 ℃. Se voi pysyä vakaana voimakkaasti syövyttävässä ympäristössä. Sen plasmapommituksen kestävyys voi pidentää huomattavasti komponenttien käyttöikää ja vähentää hiukkasten määrää etsauskammiossa.

Yleisin ratkaisu on ruiskuttaa erittäin puhdasta Y2O3-pinnoitetta etsauskammion ja muiden avainkomponenttien suojaamiseksi.