PZT pietsosähköiset kiekot (PZT Si/SOI:ssa)

1. Tekninen arkkitehtuuri

Kiekoissamme on hienostunut monikerroksinen pinorakenne, joka on suunniteltu varmistamaan optimaalinen tarttuvuus, johtavuus ja pietsosähköinen vaste monimutkaisen MEMS-käsittelyn aikana:

 ●Yläelektrodi (avainkerros): Pt (platina).

● Pietsokerros (ydinkerros): PZT.

● Välikerrokset: Sisältää puskurikerroksen, pohjaelektrodin ja tartuntakerroksen raesuuntauksen ja rakenteellisen vakauden optimoimiseksi.

● Substraatti: Yhteensopiva Si- tai SOI-kiekkojen kanssa.

2. Laadunvarmistus ja mikrorakenneanalyysi

Varmistamme korkean luotettavuuden tiukan teknisen karakterisoinnin avulla:

 ●SEM-analyysi: Pyyhkäisyelektronimikroskoopin (SEM) kuvat paljastavat tiheän, halkeilemattoman pinnan morfologian tasaisella raekokojakaumalla, mikä on ihanteellinen erittäin luotettaviin MEMS-sovelluksiin.

 ●XRD karakterisointi: X-Ray Diffraction (XRD) -kuviot vahvistavat puhtaan perovskiitin faasin muodostumisen vahvalla (100) suositellulla orientaatiolla, mikä varmistaa maksimaaliset pietsosähköiset suorituskykykertoimet.

3. Tekniset tiedot (ominaisuudet)

4. Ydinsovellukset

 ● Pietsosähköiset mikrokoneistetut ultraäänianturit (pMUT): Korkeataajuiset pienoisryhmät sormenjälkitunnistimille, eleiden tunnistukselle ja autojen ultraäänitutkalle.

 ● Viestintä: Avain FBAR- tai SAW-suodattimien valmistukseen 5G/6G:ssä leveämmän kaistanleveyden ja pienemmän lisäyshäviön saavuttamiseksi.

 ● Akustinen MEMS: Tarjoaa tehokkaan transienttivasteen MEMS-kaiuttimille ja parantaa MEMS-mikrofonien signaali-kohinasuhdetta (SNR).

 ● Precision Fluid Control: Nopea tärinä d31-tilan kautta nanolitran mittakaavan tarkkaan pisaroiden määrän säätöön mustesuihkutulostuspäissä.

 ● Lääketiede ja kauneus (mikropumppaus): Käyttää lääketieteellisiä sumuttimia tai kosmeettisia ultraäänipumppuja erittäin luotettavasti ja pienikokoisina.

5. Räätälöintipalvelut

Si-kiekkojen vakiopinnoituksen lisäksi tarjoamme myös räätälöityjä pinnoituspalveluita:

 ●Kalvon ja paksuuden räätälöinti: Tiettyjen kalvotyyppien ja mukautetun paksuuden kerrostaminen suunnitteluvaatimusten mukaan.

 ●OEM-valimo: Asiakkailta toimitettujen kiekkojen hyväksyminen korkealaatuista pietsosähköistä ohutkalvon kasvua varten.

 ●SOI-alustan tuki: Erikoispinnoitus SOI-kiekkoille seuraavilla ominaisuuksilla: