Alumiininitridi (AlN) keraaminen sähköstaattinen istukka

1.Edut

• Erittäin puhdas AlN-keramiikka, jonka lämmönjohtavuus jopa ~180 W/m·K takaa tehokkaan lämmönsiirron ja lämpötilan tasaisuuden

• Vahva sähköeristys ja suuri volyymivastus tukevat vakaata kiinnitystä 1–3 kV jännitteellä (saatavana korkeammat jännitteet)

• Mukautetut dielektriset kerrosmateriaalit ja elektrodiasettelut: Coulomb tai Johnsen–Rahbek (JR); yksi- tai monivyöhykkeinen

• Nopea kiinnitys ja irrotus, tyypillisesti alle 0,1 sekunnissa

• Pintakuoppaiset mikrorakenteet halkaisijaltaan ~300 μm asti, jolloin kosketuspinta-ala pienenee noin 1 %:iin

• Korkea tasaisuuskyky; tyypillinen globaali tasaisuus luokkaa 0,5–3 μm PV 300 mm luokan alustoille

• Tiheä mikrorakenne, jossa veden imeytyminen on lähes nollaa ja hyvä kemiallinen kestävyys prosessiympäristöihin

2.Tyypilliset sovellukset

Alumiininitridikeraamisia sähköstaattisia istukkaa käytetään prosessivaiheissa, jotka edellyttävät sekä kiekon varmaa pitoa että kontrolloitua lämpökäyttäytymistä:

• Kuivaplasmaetsaus (ICP / RIE) ja siihen liittyvät kammioprosessit

• CVD-, PEALD-, lämpö-ALD- ja muut ohutkalvopinnoitusvaiheet

• Hehkutus- ja lämpöprosessimoduulit, jotka vaativat tasaisen kiekon lämpötilan

• Tarkastus-, metrologia- ja tarkkuusvaiheet, joissa alhainen hiukkanen ja vakaa kiinnitys ovat kriittisiä

3.AlN-materiaalilaadut – tyypilliset ominaisuudet

VeTek tarjoaa useita alumiininitridilaatuja tasapainottamaan lämmönjohtavuutta, mekaanista lujuutta ja kustannuksia ESC-malleissa:

Yksiköt: Lämmönjohtavuus W/(m·K); dielektrinen lujuus kV/mm; tilavuusresistanssi yksikössä Ω·cm (25 °C); dielektrisyysvakio 1 MHz:llä. Arvot ovat tyypillisiä ja voivat vaihdella prosessin ja osan geometrian mukaan.

4.Tyypilliset ESC-suunnitteluparametrit

5.Miksi Choose VeTek AlN sähköstaattiset istukat?

VeTek Semiconductor integroi edistyneen AlN-keramiikan tarkan ESC-valmistuksen kanssa puolijohdeasiakkaille, jotka tarvitsevat sekä lämpötehokkuutta että luotettavaa kiinnitystä:

• Useita AlN-laatuja, joiden lämmönjohtavuus on ~90 - ~180 W/m·K vastaamaan prosessin lämpöbudjetteja

• Joustava elektrodi ja dielektrinen muotoilu Coulombin tai JR:n kiinnityskäyttäytymiseen

• Tasaisuuden, pinnan mikrorakenteen ja sähköeristyksen tiukka hallinta

• Täysi elinkaaren tuki: suunnittelu, uusi rakentaminen ja monitasoinen kunnostus

VeTekin alumiininitridikeraamiset sähköstaattiset istukat tarjoavat etsaus-, pinnoitus- ja lämpötyökaluille, jotka ovat riippuvaisia ​​tasaisesta kiekkojen lämpötilasta ja puhtaasta, toistetusta kiinnityksestä, tehokkaan keraamisen alustan, jota tukee sovelluskeskeinen tekninen tuki.