Uutiset

Opi kuinka VETEK Pyrolytic Carbon (PyC) -pinnoitetut grafiittirenkaat parantavat lämpöstabiilisuutta, vähentävät kontaminaatiota ja pidentävät komponenttien käyttöikää piikarbidikiteiden kasvu-, epitaksi-, CVD- ja korkean lämpötilan puolijohdeprosesseissa.

Tutustu kuinka CVD TaC -pinnoite parantaa piikarbidikiteiden kasvua ja puolijohteiden valmistusta erittäin korkealla lämpöstabiiliudella, korroosionkestävyydellä, epäpuhtauksien estämisellä ja erinomaisella suorituskyvyllä MOCVD- ja epitaksisovelluksissa.

Katso tärkeimmät Aixtron G10 -komponentit korkean lämpötilan piikarbidiepitaksijärjestelmille. Käsittelemme CVD SiC -pinnoitetut grafiittiosat, TaC-pinnoitekomponentit ja lämpökenttärakenteet – ja kuinka ne auttavat parantamaan prosessin vakautta, puhtauden hallintaa ja kiekkojen tuottoa edistyneessä puolijohteiden valmistuksessa.