Uutiset

Onko CVD Solid SiC investoinnin arvoinen? Vertaa monoliittisen piikarbidin ROI:ta perinteisiin grafiittipinnoitteisiin. Opi, kuinka ylivoimainen plasmaresistanssi ja laajennettu MTBC johtavat alhaisempiin kiekkojen romumääriin ja pidemmäksi laitteiden käyttöajaksi 12 tuuman HVM-linjoilla.

Erittäin puhtaat materiaalit ovat välttämättömiä puolijohteiden valmistuksessa. Näihin prosesseihin liittyy äärimmäistä lämpöä ja syövyttäviä kemikaaleja. CVD-SiC (Chemical Vapor Deposition Silicon Carbide) tarjoaa tarvittavan vakauden ja lujuuden. Se on nyt ensisijainen valinta edistyneiden laitteiden osille korkean puhtautensa ja tiheytensä vuoksi.

Silicon Carbide (SiC) -puolijohteiden maailmassa suurin osa valokeilasta loistaa 8 tuuman epitaksiaalisissa reaktoreissa tai kiekkojen kiillotuksen monimutkaisissa tilanteissa. Kuitenkin, jos jäljitämme toimitusketjun aivan alkuun - fyysisen höyryn kuljetuksen (PVT) -uunin sisällä, perustavanlaatuinen "materiaalien vallankumous" on hiljaa tapahtumassa.