Teollisuusuutiset

Syvällinen analyysi reunojen kellastumisen ja piikarbidipinnoitteen kuoriutumisen syistä MOCVD-epitaksigrafiittisuskeptoreissa. VeTek eliminoi mikrorasituksen säätämällä tarkasti alkuperäistä CVD-pinnoitusnopeutta ja virtauskenttää, lisäämällä pinnoitteen saantoa 50 %:sta 90 %:iin ja pidentämällä erittäin puhtaiden grafiittiosien käyttöikää.

VeTek Semi paransi suskeptorin tasoisuuden <0,08 mm:iin ja pienensi vaihtelun 0,69 prosenttiin CVD-virtauskentän simulaation ja erittäin tarkan SiC-pinnoitteen avulla, mikä parantaa kiekkojen tuottoa.

Opi, kuinka Vetek eliminoi säteittäisen halkeilun suurikokoisissa MOCVD SiC -pinnoitetuissa grafiittisuskeptoreissa. Rakenteellisen jännityspuskurin uudelleensuunnittelu ja CTE-sovitus pidensi käyttöikää yli 300 %.