Teollisuusuutiset

Kvartsituotteita käytetään laajasti puolijohteiden valmistusprosessissa niiden korkean puhtauden, korkean lämpötilan vastustuskyvyn ja voimakkaan kemiallisen stabiilisuuden vuoksi.

Piekarbidi (sic) kidekasvuuunilla on elintärkeä rooli korkean suorituskyvyn SIC-kiekkojen tuottamisessa seuraavan sukupolven puolijohdelaitteille. Korkealaatuisten SIC-kiteiden kasvatusprosessi asettaa kuitenkin merkittäviä haasteita. Jokainen vaihe vaatii edistyneitä tekniikan ratkaisuja äärimmäisten lämpögradienttien hallinnasta kidealueiden vähentämiseen, tasaisen kasvun varmistamiseen ja tuotantokustannusten hallintaan. Tässä artikkelissa analysoidaan sic Crystal Growth -uunien teknisiä haasteita useista näkökulmista.

Smart Cut on edistyksellinen puolijohteiden valmistusprosessi, joka perustuu ionin implantointiin ja kiekkojen strippaukseen, joka on erityisesti suunniteltu ultra-ohuen ja erittäin yhtenäisen 3C-SIC: n (kuutio-piikarbidi) kiekkojen tuotantoon. Se voi siirtää ultra-ohut kidemateriaalit substraatista toiseen, rikkoen siten alkuperäiset fyysiset rajoitukset ja muuttamalla koko substraattiteollisuutta.