MOCVD -epitaksiaalinen kiekko tarjoaa

MOCVD-epitaksiaalinen kiekko-herkkailija on korkean suorituskyvyn epitaksiaalinen kiekko-herkkailija, joka on suunniteltu MOCVD: lle (metalli-orgaaninen kemiallinen höyryn laskeuma) laite. Herkkuri on valmistettu SGL -grafiittimateriaalista ja päällystetty pii -karbidipinnoitteella, joka yhdistää grafiitin korkean lämmönjohtavuuden, jolla on erinomainen korkea lämpötila ja korroosionkestävyys, ja sopii korkean lämpötilan, korkean paineen ja syövyttävän kaasun ankaraan työympäristöön puolisoiden epitaksiaalisen kasvun aikana.

SGL -grafiittimateriaalilla on erinomainen lämmönjohtavuus, mikä varmistaa, että epitaksiaalisen kiekon lämpötila jakautuu tasaisesti kasvuprosessin aikana ja parantaa epitaksiaalikerroksen laatua. Pinnoitettu sic -pinnoite antaa alttiudelle kestää yli 1600 ℃: n korkeita lämpötiloja ja sopeutua äärimmäiseen lämpöympäristöön MOCVD -prosessissa. Lisäksi sic-pinnoite voi tehokkaasti vastustaa korkean lämpötilan reaktiokaasuja ja kemiallista korroosiota, pidentää herkkyyden käyttöiän käyttöä ja vähentää pilaantumista.

Vetkekemin MOCVD -epitaksiaalikiekko -alttiita voidaan käyttää korvaavan MOCVD -laitteiden toimittajien, kuten Aixtron, lisävarusteita.

● Koko: Voidaan räätälöidä asiakkaiden tarpeiden mukaan (vakiokoko saatavana).

● Kantokyky: Voi kantaa useita tai jopa yli 50 epitaksiaalista kiekkoa kerrallaan (alttiuden koosta riippuen).

● Pintakäsittely: Sic -pinnoite, korroosionkestävyys, hapettumiskestävyys.

● Puolijohdeteollisuus: Käytetään epitaksiaalisten kiekkojen, kuten LED: n, laser diodien ja voima -puolijohteiden, kasvuun.

● Optoelektroniikkateollisuus: Tukee korkealaatuisten optoelektronisten laitteiden epitaksiaalista kasvua.

● Huippuluokan materiaalitutkimus ja kehitys: Sovelletaan uusien puolijohteiden ja optoelektronisten materiaalien epitaksiaaliseen valmistukseen.

Asiakkaan MOCVD -laitetyypistä ja tuotantotarpeista riippuen Vetek Semiconductor tarjoaa räätälöityjä palveluita, mukaan lukien alttiuden koko, materiaali, pintakäsittely jne. Varmistaakseen, että asiakkaille on annettu sopivin ratkaisu.

CVD -sic -kalvon kiderakenne

CVD -sic -pinnoitteen fysikaaliset ominaisuudet

IT -puolijohde MOCVD -epitaksiaalikiekko -alttiiden kaupat