Uutiset

Jatkuvan teknisen kehityksen ja perusteellisen mekanismin tutkimuksen avulla 3C-SIC: n heteroepitaksiaalitekniikan odotetaan olevan tärkeämpi rooli puolijohdeteollisuudessa ja edistävän korkean tehokkuuden elektronisten laitteiden kehitystä.

Spatiaalinen ALD, alueellisesti eristetty atomikerroksen laskeuma. Kiekko liikkuu eri asemien välillä ja altistetaan eri edeltäjille jokaisessa asennossa. Seuraava kuva on vertailu perinteisen ALD: n ja alueellisesti eristetyn ALD: n välillä.

Äskettäin saksalainen tutkimuslaitos Fraunhofer IISB on läpimurtunut tantaalikarbidipinnoitustekniikan tutkimuksessa ja kehittämisessä ja kehittänyt suihkutuspinnoitusratkaisun, joka on joustavampi ja ympäristöystävällisempi kuin CVD -laskeutumisratkaisu ja on kaupallistettu.