Uutiset

Tämä artikkeli esittelee uusimmat kehitystyöt italialaisen LPE-yhtiön äskettäin suunnitellun PE1O8 kuumaseinäisen CVD-reaktorin ja sen kyvyn suorittaa yhtenäinen 4H-SiC-epitaksia 200 mm:n piikarbidille.

Piikarbidimateriaalien kysynnän kasvaessa tehoelektroniikassa, optoelektroniikassa ja muilla aloilla, piikarbidin yksikidekasvatusteknologian kehittämisestä tulee keskeinen tieteellisen ja teknologisen innovaation alue. SiC-yksikidekasvatuslaitteiden ytimenä lämpökentän suunnittelu saa jatkossakin laajaa huomiota ja syvällistä tutkimusta.

Jatkuvan teknisen kehityksen ja perusteellisen mekanismin tutkimuksen avulla 3C-SIC: n heteroepitaksiaalitekniikan odotetaan olevan tärkeämpi rooli puolijohdeteollisuudessa ja edistävän korkean tehokkuuden elektronisten laitteiden kehitystä.