Uutiset

Elektronisäteen haihtuminen on erittäin tehokas ja laajalti käytetty pinnoitusmenetelmä verrattuna vastuslämmitykseen, joka lämmittää haihdutusmateriaalin elektronisäteellä, aiheuttaen sen höyrystymisen ja tiivistyvän ohutkalvoksi.

Tyhjiöpäällyste sisältää kalvomateriaalin höyrystymisen, tyhjiökuljetuksen ja ohuen kalvon kasvun. Eri kalvomateriaalimateriaalien höyrystymismenetelmien ja kuljetusprosessien mukaan tyhjiöpinnoite voidaan jakaa kahteen luokkaan: PVD ja CVD.

Tässä artikkelissa kuvataan Vetek Semiconductorin huokoisen grafiitin fysikaaliset parametrit ja tuoteominaisuudet sekä sen erityiset sovellukset puolijohdeprosessoinnissa.