Teollisuusuutiset

Piikarbidimateriaalien kysynnän kasvaessa tehoelektroniikassa, optoelektroniikassa ja muilla aloilla, piikarbidin yksikidekasvatusteknologian kehittämisestä tulee keskeinen tieteellisen ja teknologisen innovaation alue. SiC-yksikidekasvatuslaitteiden ytimenä lämpökentän suunnittelu saa jatkossakin laajaa huomiota ja syvällistä tutkimusta.

Jatkuvan teknisen kehityksen ja perusteellisen mekanismin tutkimuksen avulla 3C-SIC: n heteroepitaksiaalitekniikan odotetaan olevan tärkeämpi rooli puolijohdeteollisuudessa ja edistävän korkean tehokkuuden elektronisten laitteiden kehitystä.

Spatiaalinen ALD, alueellisesti eristetty atomikerroksen laskeuma. Kiekko liikkuu eri asemien välillä ja altistetaan eri edeltäjille jokaisessa asennossa. Seuraava kuva on vertailu perinteisen ALD: n ja alueellisesti eristetyn ALD: n välillä.