Teollisuusuutiset

Puolijohteiden valmistusteollisuudessa, kun laitteen koko jatkuu, ohutkalvomateriaalien kerrostumitekniikka on asettanut ennennäkemättömät haasteet. Atomikerroksen laskeuma (ALD), ohuena kalvon laskeutumistekniikkana, joka voi saavuttaa tarkan hallinnan atomitasolla, on tullut välttämätön osa puolijohteiden valmistusta. Tämän artikkelin tarkoituksena on ottaa käyttöön prosessivirta ja ALD: n periaatteet auttaa ymmärtämään sen tärkeätä roolia edistyneessä siruvalmistuksessa.

On ihanteellista rakentaa integroituja piirejä tai puolijohdelaitteita täydelliselle kiteiselle pohjakerrokselle. Puolijohteiden valmistuksen epitaksiprosessin (epi) tavoitteena on kerrostaa hieno yksikiteinen kerros, yleensä noin 0,5-20 mikronia, yksikiteiselle alustalle. Epitaksiprosessi on tärkeä vaihe puolijohdelaitteiden valmistuksessa, erityisesti piikiekkojen valmistuksessa.

Suurin ero epitaksian ja atomikerroksen laskeutumisen (ALD) välillä on niiden kalvon kasvumekanismeissa ja käyttöolosuhteissa. Epitaksi viittaa kiteisen ohutkalvon kasvattamiseen kiteisessä substraatissa, jolla on spesifinen suuntasuhde, ylläpitäen samaa tai samanlaista kiderakennetta. Sitä vastoin ALD on saostumistekniikka, joka sisältää substraatin altistamisen erilaisille kemiallisille esiasteille peräkkäin, jotta muodostetaan ohutkalvo yksi atomikerros kerrallaan.