Uutiset

Kun 8 tuuman piikarbidiprosessi (sic) kypsyy, valmistajat kiihdyttävät siirtymistä 6 tuuman 8 tuumaa. Äskettäin puolijohde ja resonac ilmoittivat päivityksiä 8 tuuman SIC-tuotantoon.

Tämä artikkeli esittelee uusimmat kehitystyöt italialaisen LPE-yhtiön äskettäin suunnitellun PE1O8 kuumaseinäisen CVD-reaktorin ja sen kyvyn suorittaa yhtenäinen 4H-SiC-epitaksia 200 mm:n piikarbidille.

Piikarbidimateriaalien kysynnän kasvaessa tehoelektroniikassa, optoelektroniikassa ja muilla aloilla, piikarbidin yksikidekasvatusteknologian kehittämisestä tulee keskeinen tieteellisen ja teknologisen innovaation alue. SiC-yksikidekasvatuslaitteiden ytimenä lämpökentän suunnittelu saa jatkossakin laajaa huomiota ja syvällistä tutkimusta.

Jatkuvan teknisen kehityksen ja perusteellisen mekanismin tutkimuksen avulla 3C-SIC: n heteroepitaksiaalitekniikan odotetaan olevan tärkeämpi rooli puolijohdeteollisuudessa ja edistävän korkean tehokkuuden elektronisten laitteiden kehitystä.

Spatiaalinen ALD, alueellisesti eristetty atomikerroksen laskeuma. Kiekko liikkuu eri asemien välillä ja altistetaan eri edeltäjille jokaisessa asennossa. Seuraava kuva on vertailu perinteisen ALD: n ja alueellisesti eristetyn ALD: n välillä.

Äskettäin saksalainen tutkimuslaitos Fraunhofer IISB on läpimurtunut tantaalikarbidipinnoitustekniikan tutkimuksessa ja kehittämisessä ja kehittänyt suihkutuspinnoitusratkaisun, joka on joustavampi ja ympäristöystävällisempi kuin CVD -laskeutumisratkaisu ja on kaupallistettu.